Bei bestimmten Anwendungen in der Halbleitertechnologie und in der Sensorherstellung laufen die Prozesse unter Vakuumbedingungen ab. Oldham-Kupplungen werden hierfür mit Edelstahlnaben ausgestattet. Als Material der Übertragungsscheibe ist für diese Applikationen der technische Werkstoff PEEK (Polyetheretherketone) erste Wahl, da dieser nur minimalst ausgasende Eigenschaften besitzt und somit Produkte und Maschineteile nicht kontaminiert. Die Edelstahlnaben sind zusätzlich einem Elektropoliturverfahren unterzogen, um hierdurch deren Oberflächenrauheit zu verringern - essentiell für Vakuumanwendungen, um die Menge eventuell anhaftender Absorbate zu minimieren.

Beschichtungsprozesse für Bereiche der Optik, Architekturglas sowie für Solar- und Photovoltaikanlagen finden ebenfalls unter Vakuumbedingungen statt. Die Edelstahlbalgkupplungen Belflex Thermbago sowie die Wendelkupplungen Beamflex aus Edelstahl erfüllen hier zuverlässig ihre Aufgabe. Ebenfalls findet für diese Aufgabenstellungen die Edelstahlbaureihe der Lamellenkupplung Diskflex Anwendung. In doppelkardanischer Ausführung bieten sie eine hohe universelle Verlagerungskapazität gepaart mit einer hohen Torsionssteifigkeit. Für axial enge Einbausituationen stehen Kompaktversionen dieser drehsteifen Edelstahllamellenkupplung zur Verfügung. Zur Fixierung von Komponenten in vakuumtechnischen Anlagen bietet das Klemmringprogramm von Orbit Antriebstechnik einteilige und radial montierbare geteilte Klemmringe Clampmax in den unterschiedlichsten Edelstahlgüten. Die Beam Kupplungen Beamflex aus der Edelstahlbaureihe oder die spielfreien Federstegkupplungen Sliflex ebenfalls aus Edelstahl finden Einsatz in der Halbleiterfertigung in Vakuumumgebung.