Antriebskomponenten für die Vakuumtechnik
Kupplungen und andere Antriebskomponenten für die Vakuumtechnik müssen entsprechend des Vakuumniveaus spezielle Anforderungen hinsichtlich der Materialauswahl erfüllen. Materialien mit geringer Desorptionsrate, hoher mechanischer Festigkeit, hoher Temperatur- Korrosionsbeständigkeit sowie mit sauberen und glatten Oberflächen sind bei der Werkstoffwahl für geeignete Antriebskomponenten zu bevorzugen.
Antrieb von Beschichtungswalzen
Orbit Antriebstechnik liefert ein komplettes auf diese Anforderungen zugeschnittenes Programm. Lamellenkupplungen der Baureihe CD Kupplung aus Edelstahl 1.4301 sorgen für den präzisen Antrieb von Beschichtungswalzen in innovativen Beschichtungsanlagen unter Vakuumbedingungen. Balgkupplungen der Serie Belflex Thermbago mit Edelstahlbalg, Edelstahlnaben, einer geschweißten Verbindung dieser und zusätzlich mit speziellen Vakuumschrauben ausgestattet lösen antriebstechnische Aufgabenstellungen im Vakuumbereich.
Edelstahl und minimalst ausgasende Kunststoffe in der Halbleitertechnologie
Bei bestimmten Anwendungen in der Halbleitertechnologie und in der Sensorherstellung laufen die Prozesse unter Vakuumbedingungen ab. Oldham-Kupplungen werden hierfür mit Edelstahlnaben ausgestattet. Als Material der Übertragungsscheibe ist für diese Applikationen der technische Werkstoff PEEK (Polyetheretherketone) erste Wahl, da dieser nur minimalst ausgasende Eigenschaften besitzt und somit Produkte und Maschineteile nicht kontaminiert. Die Edelstahlnaben sind zusätzlich einem Elektropoliturverfahren unterzogen, um hierdurch deren Oberflächenrauheit zu verringern - essentiell für Vakuumanwendungen, um die Menge eventuell anhaftender Absorbate zu minimieren.
Optik, Architekturglas, Photovoltaikanlagen
Beschichtungsprozesse für Bereiche der Optik, Architekturglas sowie für Solar- und Photovoltaikanlagen finden ebenfalls unter Vakuumbedingungen statt. Die Edelstahlbalgkupplungen Belflex Thermbago sowie die Wendelkupplungen Beamflex aus Edelstahl erfüllen hier zuverlässig ihre Aufgabe. Ebenfalls findet für diese Aufgabenstellungen die Edelstahlbaureihe der Lamellenkupplung Diskflex Anwendung. In doppelkardanischer Ausführung bieten sie eine hohe universelle Verlagerungskapazität gepaart mit einer hohen Torsionssteifigkeit. Für axial enge Einbausituationen stehen Kompaktversionen dieser drehsteifen Edelstahllamellenkupplung zur Verfügung. Zur Fixierung von Komponenten in vakuumtechnischen Anlagen bietet das Klemmringprogramm von Orbit Antriebstechnik einteilige und radial montierbare geteilte Klemmringe Clampmax in den unterschiedlichsten Edelstahlgüten. Die Beam Kupplungen Beamflex aus der Edelstahlbaureihe oder die spielfreien Federstegkupplungen Sliflex ebenfalls aus Edelstahl finden Einsatz in der Halbleiterfertigung in Vakuumumgebung.
